當人們描述那些只存在於人們想象中的，尤其是有些邪惡的生物時，通常會把它們統稱為「妖怪」。修煉多年，化為人形的動植物可以稱之為妖怪；無生命的物件由於某些原因獲得了生命，也可以稱之為妖怪；還有完全依靠人類的想象力，被憑空創造出來的奇異生物，同樣可以稱之為妖怪。妖、魔、精、怪、魑魅、魍魎，在今天，它們已被混為一談。然而，在用來描述那些被統稱為「妖怪」的怪物之前，古人是怎麼區分它們的呢？
「妖」起初用來指反常的事件或是不祥的徵兆。《左傳•宣公十五年》曰：「天反時為災，地反物為妖。民反德為亂，亂則妖災生。」氣候反常，自然災害都被認為是君主失德所致的「妖災」。因此，「妖」代表著被人們--尤其是統治者們，討厭和害怕的種種異象。所謂事出反常必有妖，違背自然規律的事也被稱之為「妖」，漢景帝三年有狗與彘交配，便被認為是「趙王悖亂」的徵兆。後來，「妖」也可以單獨指一些成精的動植物或器物了。
由於各類遊戲、漫畫等的影響，我們習慣於把歷史上一些著名的「反派擔當」如蚩尤、董卓等人稱為「魔王」。其實在古代是不會有人這麼稱呼他們的。
「魔」字來源於梵文，《康熙字典》中「魔」一條是這樣寫的：譯經論曰：魔，古從石作磨，䃺省也。梁武帝改從鬼。「魔」的宗教色彩濃厚。比起有著具體形態的妖怪，「魔」更多指的是耽誤那些修行者頓悟的雜念。《大智度論》中解釋：問曰何以名魔？答曰奪慧命、壞道法功德善本，是故名為魔。換言之，一般的動植物和器物，異象化物，只要不去給宗教人士找麻煩，是沒有資格稱之為「魔」的。
魔最早在南北朝時出現，而正式使用卻是在《宋史》中，這與宋代明教即摩尼教的興盛有關。摩尼教信徒眾多，聚眾集會，對統治非常不利。著名的方臘起義背後也有摩尼教的影子。統治者自然對摩尼教沒什麼好臉，不但嚴令禁止傳習「妖教」，還乾脆用「魔」來代替「摩」由於摩尼教不許吃肉，因此摩尼教信徒被統治者譏諷為「吃菜事魔」。
《說文解字》中說：精，擇也。從米青聲。「米」是穀物或其他植物子實去殼後可食用的部分。而在稻米中，白中泛青色者，為上好的精良之米。因而，「米」「青」為「精」，本義是經過篩選的最為優質的米。
「精」字起初並沒有什麼貶義。在古人樸素的世界觀中，萬物的來源都是天地之間的靈氣。這靈氣就是所謂的「精」，即是「精氣」。
起初的妖怪多作為「徵兆」出現，《搜神記》認為：妖怪者，蓋精氣之依物者也。「精氣」依附到物體或動植物上，充斥其中，改變其外表，這樣的變化就預示了未來的吉凶。由於「妖怪」通常都預示了災禍，所以這些被「精氣」影響的動物或物件也被稱為「精怪」，不受人們歡迎。「精」字也有了與「妖怪」大致相同的意思，用來指那些變得怪異，尤其是可以化為人形的動物或物件。最著名的莫過於「狐狸精」這一稱謂。
「妖」、「怪」兩字經常連用，因為其意思相近，都表示怪異反常。《康熙字典》對二者的區別是這麼解釋的：「凡行之詭異曰怪……又狀貌之瑰異亦曰怪……又氣變常，人妖物曰怪。」也就是說，相比之下，「妖」更多指的是詭異的現象，而「怪」更多用來實指形象或者行為詭異的人或事物。說「某處有妖」，更可能是那裡出了一些異常的事情；而說「某處有怪」，就更可能是那裡出現了奇特的怪物。比如《孔子家語•辨物》中，夔就被稱為「木石之怪」，罔象被稱為「水中之怪」，賁羊則被稱為「土中之怪」。
「魑魅」通常與「魍魎」連用。成語「魑魅魍魎」用來比喻形形色色的壞人。但「魑魅」和「魍魎」卻是兩種不同的妖怪。
「魑魅」也作「螭魅」，《史記索隱》引服虔雲：「魑魅，人面獸身四足，好惑人。」被認為是居住在山裡害人的妖怪，長著人的臉和野獸的身子，喜歡迷惑進入山中的人類。也有人認為魑魅是山澤之神。比如《東京賦》中薛綜注：「魑魅，山澤之神。」在黃帝與蚩尤的涿鹿之戰裡，魑魅加入了蚩尤的軍隊，但是黃帝吹響號角發出龍吟的聲音，抵禦了魑魅的進攻。
《山海經》中還記載了名為「神?」（?為䰡的異體字)的妖怪，同樣人面獸身，但只有一足一手，叫聲就像打哈欠一樣。為《山海經》作注的郭璞認為「?」也是魑魅的一種。
「魍魎」也作「蝄蜽」、「罔兩」。
《孔子家語•辯物》說其為「木石之怪」；東漢許慎《說文解字》說它是「山川之精物」；還有認為它是顓頊之子死後所化，《搜神記》稱其居若水，為疫神。
魍魎和魑魅一樣，魍魎也在涿鹿一戰加入了蚩尤陣營，與黃帝為敵。諷刺的是，顓頊有一位兒子，也就是黃帝的一位曾孫子，死後化為了魍魎，盤踞在弱水。「魍魎」一詞還可以指影子之外的微陰。《莊子•齊物論》裡就描述了罔兩與景(即影子)的對話。
日本的魍魎則重口味多了，據水木茂《日本妖怪大全》記載：在日本，魍魎是喜歡吃死人肝臟的妖怪。
